사업분야

차별화된 기술력과 창조적인 사고 더 큰 도약을 위한 도전은 계속됩니다.

기술연구소

Introduction

(주)에프에스티의 부설 연구소는 기존 FST의 대표 사업분야인 Pellicle과 TCU 사업 외에 차세대 기술 개발에 매진하고 있습니다. EUV Lithography로 대변되는
차세대 반도체 공정에 도입 가능한 EUV Infrastructure에 대한 다양한 검사 기술 및 Solution을 제공하는 대한민국 유일의 EUV Solution Provider가 되기 위해
국내외 유수의 연구기관과 함께 최고의 기술 개발에 구슬땀을 흘리고 있습니다!
R&D Technology
EUV Infrastructure
  • EUV Pellicle Mount/Demount
  • EUV Pellicle 검사
  • EUV POD 검사/측정
  • EUV (13.5nm) 파장의 광원 제작
검사 기술
  • Mask Handling 기술
  • Mask/Pellicle particle 검사 기술
  • Corner 검사 기술
  • Automatic Review 기술
  • Particle Removal 기술
디스플레이 분석 기술
  • Defect 성분 분석 기술
  • 공정 모니터링 기술
  • 비파괴 / 비접촉 분석 기술

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