사업분야
차별화된 기술력과 창조적인 사고 더 큰 도약을 위한 도전은 계속됩니다.
APS 사업부
APS Overview
FST의 APS사업부는 2010년부터 EUV Lithography 공정에 필수적인 EUV Infra Tool 및 검사 장비를 개발·상용화해온 첨단 장비 전문 사업부입니다.
APS는 반도체 산업의 고도화된 기술 수요에 대응하기 위해 지속적인 연구개발과 고객 협업을 통해 Total EUV Solution Provider로 도약하고 있습니다.
R&D Technology
Process control
- Quantity, temperature and pressure control
- EUV Pellicle rupture prevention & monitoring
- Automation solution
EUV Generation
- Excellent coherence & low divergence (laser-like)
- HHG: High order Harmonic Generation
- LPP: Laser Produced Plasma
- Table top scale footprint
Inspection & Measurement
Technologies
Technologies
- Through Pellicle Inspection
- Die to Die Algorithm
- Auto Defect Review & Classification
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